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半导体行业—元器件/密封件

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方案概述
用于电子元器件/密封件检漏，方案由压氦罐、检漏罐、氦质谱检漏仪组成
方案构成
方案由压氦罐、检漏罐、氦质谱检漏仪组成 将电子元器件或者密封件放入压氦罐中，压入规定浓度和压力的氦气，保压一定时间，然后将罐体压力释放，用干燥的压缩空气或者氮气将电子元器件表面吸附的氦气进行吹扫，最后将电子元器件放入检漏罐中进行检漏，
方案特点
1、独特的气路设计，提高了对氦的抽速，缩短了清氦本底时间，有效防止氦污染;
2、最小可检漏率低，灵敏度高，检测量程达到12级;
3、智能故障提示及报警功能.
行业应用
华为科技有限公司
中国电子科技集团第三十八研究所
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